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CZA系列氬氣凈化機(jī)
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設(shè)備名稱 |
設(shè)備型號(hào) |
工作方式 |
備 注 |
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催化再生式氬氣凈化機(jī) |
CZA-B |
手動(dòng) |
工作塔一用一備 |
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CZA-C |
半自動(dòng) |
工作塔一用一備 |
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CZA-D |
手動(dòng) |
工作塔一組 |
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CZA-Z |
全自動(dòng) |
工作塔一用一備 |
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原氣要求 |
純 度 |
≥99.9%一般瓶裝純氬、液氬、較好的管道氬 |
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雜質(zhì)要求 |
O2<1000PPm, H2O<1000PPm |
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輸出純氣 |
雜質(zhì)含量 |
O2≤0.5PPm H2O≤2PPm(即露點(diǎn)≤－70℃) CO+CO2≤0.1PPm 塵埃粒子數(shù)（≥0.3μm）3-5個(gè)／升 S、P的氧化物≤0.1PPm |
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純 度 |
≥99.9998% |
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工作壓力 |
0～1.0MPa |
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處理氣量 |
1～100Nm3/h 根據(jù)用戶需求設(shè)計(jì)制造 |
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備 注 |
此系列設(shè)備不能除氮，氬氣中除氮應(yīng)選擇4N/FX系列機(jī)型。 |
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